S3 Alliance ist eine Vertriebsgesellschaft, die folgende Produkte für den Halbleiter-/MEMS-Markt anbietet:
- Anlagen: CMP, Backgrinding, Taping-Detaping-Mounting, Scribe + Break, ALD + Reinigung (WET + CO₂), Plasma Etch, RIE, ICP, Asher, PECVD, Ultrasonic Spray Coating, Spin Coating, CPD.
- Messtechnik + Automatisierung: Partikel- und Fehlerprüfungs-Anlagen, EFEM, Wafer Loader, Flat/Notch Aligners, Dickenmessung, Ultraschall-Durchflussmessung, REM, Konzentrationsmessung von Chemikalien + Slurry.
- Teile + Verbrauchsmaterialien:
Für CMP: Retaining Ring, Diamantkonditionierer, Pads…
Schleifscheiben, Transportboxen, Kassetten (PFA, PP, PE, PEEK), Chemikalien- und DIW-Heizer, Chemikalienpumpen. Reinigungsmaterial.
- Dienstleistung: Roboter-Reparatur für Yaskawa, Kawasaki, Brooks, PRI, Equipe und Genmark. Kryo- und Chemikalienpumpen-Reparatur, Power Supply Reparatur.