Precitec präsentiert die CHRocodile Sensoren für Topographie- und Dickenmessungen. Sie ermöglichen die Messung von Strukturen, Dicke, Wölbung und Verformung. Die CHRocodile-Sensoren zeichnen sich durch hohe Messraten aus. Sie ermöglichen Präzisionsmessungen und können als Standalone-Sensoren eingesetzt oder in Produktionsmaschinen für lnline-Messungen integriert werden.

Sie haben sich bei großen Halbleiterherstellern in der ganzen Welt  bewährt und werden in Produktionsmaschinen für zahlreiche Arten      der Qualitätskontrolle eingesetzt.

Precitec-Sensoren haben die folgenden Vorteile:

• Präzise Messungen unabhängig von der Oberflächenart
• Hohe axiale Auflösung für die Messung komplizierter Strukturen
• Messungen auch auf stark geneigten, reflektierenden und streuenden Oberflächen
• kleiner Spot Durchmesser
• Robuste und kompakte Bauweise