Automatische Messsysteme für Kontaktwinkel und Dünnfilmstress, Mikroritzgeräte

Die OEG GmbH entwickelt und produziert seit 1991 hochgenaue optische Messsysteme für optische, physikalische und geometrische Parameter. Die OEG GmbH hat sich seitdem als Hersteller von speziellen branchenbezogenen Produkten etabliert, die auf allen Kontinenten im Einsatz sind. Für den Halbleiterbereich bietet die OEG GmbH das Kontaktwinkelmesssystem SURFTENS WH 300 mit Wafer-Roboter, Loadport und SECS/GEM Interface an. Weiterhin hat sich ein Präzisions-Mikro-Ritzgerät MR200 im Bereich Forschung und Entwicklung vielfach bewährt. Das Waferstress-Messsystem FLATSCAN ergänzt das Produktspektrum. Hardware, Software und mechanische Baugruppen für unsere Systeme und Geräte werden innerhalb der OEG GmbH entwickelt und gefertigt. Dadurch können wir eine extrem hohe Servicefähigkeit garantieren.