Fortschrittliche Plasma-Anlagen und Vertikalöfen für MEMS & Halbleiter

SPT – Fortschrittliche Plasmaanlagen und Vertikalöfen für MEMS & Halbleiter

SPT ist ein führender Hersteller von Halbleiterprozessanlagen, der auf Plasmaätzsysteme, PECVD-Anlagen und Vertikalöfen spezialisiert ist. Mit Expertise in der MEMS-Fertigung und Waferbearbeitung ermöglicht SPT eine außergewöhnliche Prozesspräzision, Gleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit.

Mit mehr als 60 Jahren Erfahrung im Bereich thermischer Systeme und über 30 Jahren Innovation im Bereich Si DRIE (einschließlich des Bosch-Prozesses) in Kombination mit japanischer Ingenieurskunst liefert SPT leistungsstarke Plattformen, die die Herstellung von Halbleitern der nächsten Generation unterstützen. Das Unternehmen mit Hauptsitz in Japan bietet umfassenden Service und technischen Support in Asien, Europa und USA.