SmarAct: High-Precision Positioning für Forschung, Industrie und Innovation

SmarAct Motion liefert hochpräzise Positioniersysteme für Halbleiter- und Photonikprozesse. Nanometergenaue Bewegungen unterstützen Wafer-Inspektion, Probing, Lithografie und die aktive Ausrichtung photonischer Bauelemente. SMARSLIDE^® Piezopositionierer ermöglichen lineare, rotatorische und goniometrische Bewegungen, SMARSHIFT^® Direktantriebe bieten wartungsarme Hochgeschwindigkeitspositionierung für Wafer-Handling und optische Justage. SMARFLEX^® Scanner garantieren Stabilität bei Faser- und Linsenausrichtung. SMARPOD^® Hexapods und TRIPOD Systeme mit mehreren Freiheitsgraden eignen sich ideal für photonische Schaltkreise und Mikromontage. Modular integrierbar, sichern SmarAct Lösungen Präzision und Zuverlässigkeit für die Zukunft von Halbleitern und Photonik.