Roboter, mobile Roboter, Pod-Opener zur Automatisierung der Halbleiterfertigung

Mit dem FABMOVER bietet BEC Robotics eine flexible mobile Automatisierungslösung für Reinräume der Halbleiterfertigung. Basierend auf KUKA-Technologie automatisiert er das Handling verschiedenster Pods in Bestandsanlagen und ermöglicht so eine effiziente Nachrüstung bestehender Produktionsumgebungen. Dank integrierter Software-Interfaces wie SEMI E82 und E84 fügt sich der FABMOVER nahtlos in vorhandene Systeme ein. Ergänzend stehen Pod-Opener-Lösungen für die vollständig automatisierte Entnahme und Übergabe von Wafern zur Verfügung. Mit präziser Navigation, hoher Kapazität und modularer Architektur steigert der FABMOVER Durchsatz und Prozesssicherheit und bietet eine zukunftssichere Plattform für die fortschreitende Automatisierung in der Halbleiterindustrie.