Complete fab solutions. From cleanroom to exhaust.

Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions ist Hersteller von Turbomolekular-Vakuumpumpen, trockenen Vakuumpumpen und Messgeräten für Anwendungen wie PVD, CVD, Lithografie, Ätz- und Implantationsprozesse sowie für Backend-Anwendungen. Für Inspektion und Messtechnik bieten wir vibrationsarme Vakuumlösungen. Darüber hinaus liefern wir Leckdetektoren und Systeme für das Kontaminationsmanagement. Pfeiffer fertigt zudem Flansche, Ventile, Fittings und Kammern sowie kundenspezifische Komponenten.

Pfeiffer ist Teil der Busch Group, einem der weltweit größten Hersteller von Vakuumpumpen, Vakuumsystemen, Gebläsen, Kompressoren und Abgasreinigungssystemen. Unter ihrem Dach vereint die Gruppe die beiden bekannten Marken Busch Vacuum Solutions und Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions.