Mechatronik-Lösungen für hochpräzise Halbleiter- und Elektronikfertigung
Die Qualität, Performance und Effizienz der Halbleiter- und Elektronikfertigung hängen maßgeblich von den eingesetzten Mechatronik-Lösungen ab. Bosch Rexroth unterstützt Maschinenhersteller und OSAT-Supplier (Outsourced Semiconductor Assembly and Test) mit einem breiten Lösungsportfolio. Das Spektrum reicht von kompakten und reinraum-zertifizierten Lineartechnik-Komponenten über mechatronische Baugruppen bis hin zu einbaufertigen Subsystemen inklusive Motion Control, wie zum Beispiel Wafer-Lifts. Das umfassende Angebot inklusive geeigneter Oberflächenbeschichtungen deckt den gesamten Wertstrom ab und ermöglicht von der Chipfertigung über Front- und Backend bis zur Elektronikfertigung Bestwerte bei Durchsatz (Throughput), Ertrag (Yield) und Skalierbarkeit. Der kundenspezifische Engineering-Support beschleunigt das Prototyping und verkürzt die Time-to-Market.
Der Standardisierungsgrad in der Halbleiter- und Elektronikfertigung steigt weiter an. Wesentliche Treiber sind konsistente, zuverlässige Prozesse sowie hohe Anforderungen an die Kompatibilität der verschiedenen Geräte und Systeme.
Bosch Rexroth verbessert die Standardisierung und Effizienz mit einem breiten und umfassenden Angebot an hochwertigen Lineartechnik- und Mechatronik-Lösungen mit aufeinander abgestimmten Komponenten. Zu den Bausteinen zählen neben direkt angetriebenen Linearmodulen für Hochgeschwindigkeitsanwendungen, Linearmotorachsen und lineare Aktuatoren auch mechatronische Handlingssysteme inklusive Antriebstechnik sowie einbaufertige Subsysteme (Sub-Assemblies) mit präziser Motion Control. Auch Profilschienenführungen mit integrierten Messsystemen sowie hochpräzise Kugelgewindetriebe haben sich bereits vielfach in unterschiedlichsten Anwendungen bewährt.
Auf Wunsch unterstützt das Rexroth Engineering-Netzwerk die Entwicklungsabteilungen von Maschinenherstellern und OSAT-Zulieferern in enger, partnerschaftlicher Zusammenarbeit ab dem ersten Prototyp und verkürzt so die Zeitspanne vom Labor zur Fertigung. Dank der hohen Qualität profitieren OEMs von Langlebigkeit, Prozessstabilität, Skalierbarkeit sowie der exakten Kopierbarkeit von Anlagen- und Prozessen (copy exact).
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