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Vistec Electron Beam GmbH

SEMICON Europa
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Hersteller von Elektronenstrahl-Belichtungsanlagen mit variablem Formenstrahl

Unternehmensprofil

Die Vistec Electron Beam GmbH mit Sitz in Jena ist Hersteller und Lieferant von Elektronenstrahl-Belichtungsanlagen, die auf dem Prinzip des variablen Formstrahls basieren. Sie kommen sowohl in der Halbleiterindustrie als auch in der angewandten Forschung zum Einsatz.
Die Elektronenstrahl-Belichtungsanalgen dienen dem Direktschreiben auf Silizium oder Verbundmaterialien, dem Maskenschreiben und neuen Märkten. Technische Lösungen wie effiziente Daten-Prozessierung oder schnelles Schreiben von Wiederholstrukturen eröffnen neue Anwendungsmöglichkeiten z.B. für AR/VR. Weitere Anwendungen sind die Mikro- und Nanoelektronik, Mikrooptik, integrierte Optik, Photonik, Metamaterialien und Nano- und Biotechnologien.
Aufgrund eines automatisierten Handlings, hoher Flexibilität, Schreibgenauigkeit und Produktivität eignen sich die Anlagen auch für Prototypen und Kleinserienfertigung.

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Vistec Electron Beam GmbH
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