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amcoss Spezialanlagen für Produktion und Labor - Wirtschaftliche und kundenspezifische Anwendungen für große und kleine Stückzahlen

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Feldkirch, Österreich. Neben den Spin Coatern und Developern der amc-Serie entwickelt und produziert die amcoss GmbH eine Reihe von Anlagen und Geräten für Spezialanwendungen in Produktionsprozessen oder auch für kleine Stückzahlen in Laboren oder Einzelfertigungen.

amcoss Einzelmaschine für HMDS-Beschichtung

Bei der HMDS-Bedampfung stoßen herkömmliche Coater-Anlagen verfahrenstechnisch sehr oft an ihre Grenzen. Die amc hmds200 Anlage hingegen ist eine eigens für die HMDS-Beschichtung – auch in MEMS-Anwendungen - entwickelte Batch-Maschine. Ein sehr großer Vorteil ist die Kassettenstation, die in zwei Kassetten insgesamt 50 Wafer bis zu einer Größe von 200mm aufnehmen und gleichzeitig dem HMDS-Prozess zuführen kann. Im Vergleich zur Einzelprozessierung erhöht sich der Durchsatz dadurch enorm, was die Wirtschaftlichkeit spürbar erhöht. Außerdem ist eine Beschädigung von empfindlichen Substraten, die beim Einzelwaferhandling entstehen kann, ausgeschlossen. Zwei Detektoren erkennen und registrieren zur Lotüberwachung die Anzahl der Kassetten.

In der HMDS-Prozesskammer ist ein HMDS-Verdampfer mit kontrolliertem N2-Fluß integriert. Außerdem wird der HMDS-Gehalt ständig überwacht und es erfolgt eine kontrollierte Absaugung. Dank dieser Features ist der Prozess jederzeit kontrollier- und beherrschbar, was die Sicherheit erhöht und Fehlproduktionen sowie Ausschuss und somit Fehlerkosten senkt. Gesteuert wird der gesamte Prozess über die bereits langjährig bewährte amcoss amc-Software, die auch in den amc Belackern zum Einsatz kommt. Mit ihr ist eine zuverlässige Prozesskontrolle und einfache, komfortable Rezepterstellung möglich.

amcoss Labor-Hotplate für die Einzel- und Kleinstmengenfertigung

Für das Aufheizen von Wafern und anderen Substraten in minimalen Mengen in Laboren auf Temperaturen zwischen 40° und 220°C empfiehlt sich die amcoss Labor-Hotplate. Sie stellt ein extrem flexibles Gerät in Bezug auf Ausstattungs- und Anwendungsmöglichkeiten dar, was gerade bei kleinsten Stückzahlen, die jedoch einer enormen Prozessvielfalt unterliegen, ein wesentlicher Vorteil darstellt. So können auf der Heizplatte Wafer im breiten Durchmesserbereich von zwei bis acht Zoll und sogar spezielle Substratspezifikationen, wie z.B. quadratische oder rechteckige Wafer, bearbeitet werden. Außerdem kann zwischen sechs Programmrezepten, bei denen die Soll-Temperatur und Prozesszeit individuell bearbeitbar ist, gewählt werden. Mit Hilfe des Displays zur Temperaturkontrolle an der Geräteaußenseite lässt sich die Prozesstemperatur jederzeit überwachen. Die amcoss Hotplate weist eine hervorragende Temperaturstabilität auf, d.h. dass selbst bei höheren Temperaturen die Abweichungen minimal sind.

Mit ihren vielzähligen Standardfeatures, wie beispielsweise der effizienten Absaugung, vier Aushebepins und einem fixen Proximity sowie einer großen Auswahl an weiteren Ausstattungsoptionen (z.B. Deckelheizplatte, diverse Wafer-Aufnahmen und Heizplatten­ausführungen) garantiert die Labor-Hotplate einen zuverlässigen Betrieb bei langer Lebensdauer, eine gute Wartbarkeit, und vor allem auch ein attraktives Preis-Leistungsverhältnis.

amcoss amc r&d Belacker für die Einzel- und Kleinstmengenfertigung

Für die Beschichtung von Wafern im Durchmesserbereich von zwei Zoll bis 450 mm in Kleinstmengen, beispielsweise in Laboren für Forschung und Entwicklung, bietet amcoss den amc r&d Spin Coater und Developer mit manueller Substrathandhabung. Hier werden die gleichen qualitativ höchstwertigen Prozessmodule, wie in den vollautomatischen Belackern der amc-Serie verbaut. Es fehlt einzig der Roboter für das Waferhandling. Die Art und Anzahl an Prozessmodulen bestimmt der Kunde, so dass jede Anlage einzigartig ist und genau den Kundenanforderungen entspricht. Das integrierte Wafer-Zentrierungs-System ist manuell bedienbar. Mit der „Reduzierung auf das Wesentliche“ kann die amcoss GmbH mit dem amc r&d Belacker eine Anlage anbieten, die auch für die geringe Stückzahlen einen wirtschaftlichen Betrieb zulässt.

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amcoss amc hmds200 Einzelmaschine für die HMDS-Adhäsion für die gleichzeitige Bearbeitung von bis zu 50 Wafern bis 200mm.
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amcoss Labor-Hotplate für kleine Stückzahlen in einem großen Temperaturbereich von 40° bis 220°C.
Unsere Ansprechpartner in Pressefragen

amcoss GmbH
Leusbundtweg 49a
6800 Feldkirch

phone  +43 5522 209 50
telefax  +43 5522 209 50-9

office@amcoss.com
www.amcossmaterials.com
www.amcoss.com

Pressekontakt:

Petra Brandenburg
phone  +43 5522 209 50-41
petra.brandenburg@amcoss.com

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