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Unternehmensprofil

scia Systems ist Komplettanbieter von komplexen Ionenstrahl- und Plasmaprozessanlagen. Die Systeme werden für Beschichtungs- und Ätzprozesse, u. a. in der Produktion von Mikroelektronik, MEMS und optischen Präzisionskomponenten, eingesetzt. Durch ihren flexiblen und modularen Aufbau können die Systeme sowohl für die Massenproduktion als auch für Forschungs- und Entwicklungsumgebungen konfiguriert werden. Zusammen mit unseren weltweiten Servicepartnern bieten wir umfassenden Support und erstklassige Technologieunterstützung. Unser breites Spektrum an Prozesstechnologien umfasst Ätzprozesse, wie Ionenstrahltrimmen, Ionenstrahlätzen und reaktives Ionenätzen sowie Beschichtungsverfahren, wie Ionenstrahlsputtern, PECVD und Magnetronsputtern.

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