Die MPS als Gesellschaft der Firmengruppe PVA TePla AG engagiert sich in drei Geschäftsbereichen; mit VPD und SIRD sind dies einerseits Metrologiesysteme zur Waferinspektion.  Der dritte Schwerpunkt liegt auf Plasmabehandlungen entlang des gesamten Herstellungsprozesses von Mikrostrukturen. Vom Entfernen von Fotolack auf Wafern bis zur Reinigung und Aktivierung von prozessierten Substratoberflächen, also sowohl im Frontend- als auch im Backendbereich der Mikrochipproduktion, verfügt die MPS über ein breites und zugleich für die jeweilige Applikation maßgeschneidertes Anlagenportfolio. Zusammen mit jahrzehntelanger Prozessexpertise ist die MPS ein verlässlicher Partner, wenn es darum geht, Anlagen zielgenau anwendungsorientiert und reibungslos in Produktionsprozesse einzubringen.